石英红外加热管

超纯水加热低污染

本产品为去离子水加热系统配套专用的卤素红外灯,是半导体及泛半导体湿法制程中去离子水加热模块的核心发热耗材。灯管采用优质石英玻璃与高性能钨丝制造,通过输出红外辐射作为热源,穿透石英水路腔体对纯水进行非接触式加热。该产品可高效配合机台设备的温控系统,实现快速、稳定的水温管理,满足电子工程高端工艺对流体洁净度与温控响应的高标准要求。

 

  • 适用设备: 去离子水加热模组
  • 工作电压: 208V(可依不同厂务电压需求定制/提供标准件)
  • 额定功率: 4000W(提供多种功率型号适配不同腔体)
  • 外形结构: 直管型红外卤素灯

产品描述

此卤素红外灯用于 DIW/UPW 在线加热单元的热源部件,适合作为设备维保时的耗材替换件。灯管一般安装在加热模块外侧的灯架或反射腔位置,通过红外辐射向石英水路腔体外壁传热,实现对流经其中的去离子水进行间接、非接触式加热。该加热方式热惯性相对较低,便于提升温度调节响应,并可与设备的温控回路配合,用于工艺供水的升温与温度保持。

应用领域

  • 去离子水加热单元:广泛应用于去离子水单元加热器,为超纯水循环系统、喷淋冲洗管路提供快速升温的热源。
  • 化学药液槽加热:作为多种工艺流体槽、酸碱药液槽的外部辐射热源,用于快速加热并维持工艺液体的温度,杜绝交叉污染。
  • 泛半导体与精密电子制程:覆盖集成电路、光伏硅片制绒、LCD/OLED 显示面板及精密光学镜片制造过程中的湿法清洗与流体加温环节。
  • 高纯度流体及医疗制药:适用于实验室高纯化学品加温、生物制药纯水制备及医疗级流体的非接触式加热系统。

产品优势

  • 非接触式加热,保障高纯度:灯管外置辐射发热,工作时不与流体物理接触,防止金属离子析出。 
  • 低热惯性,温控响应迅速:升降温快,配合机台温控系统,能快速响应流量变化,抑制水温过冲现象。
  • 通用规格,维保替换便捷:提供适配设备的电气参数,得益于干湿分离设计,更换灯管无需拆卸水路,省时省力。
  • 光热输出稳定,使用周期长:采用高透光石英管壳与抗氧化封装工艺,高功率连续运行下光衰表现平稳,热转换效率持久稳定。
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