PFA药液加热器
耐强腐蚀，防污染
圆筒卧式药液加热器，6KW 型号，多规格可选，配置防腐密封接线盒，可适配国产蚀刻设备批量配套使用。适用于半导体蚀刻清洗、光伏硅片制绒、电子高纯药液恒温等强腐蚀洁净工况；与药液接触部位采用高纯 PFA 氟塑料，发热芯整体完整包覆高纯 PFA 保护层，药液接触侧无金属介质，可有效降低金属离子析出造成的流体污染风险。
- 接液材质：高纯 PFA
- 加热功率：常规 1–12kW
- 控温范围：常温～120℃
- 工作介质：HF、酸、碱、高纯清洗药液
- 供电：220V/380V
- 保护功能：干烧、超温、漏液断电保护
- 适用形式：在线管道式 / 槽体浸入式
产品描述
本款 PFA 药液加热器，可应用于半导体湿法工艺、光伏硅片药剂加温等高腐蚀洁净场景。接液组件采用高纯 PFA 材质，发热单元一体式 PFA 包覆隔离，金属不直接接触药剂；集成 PID 温控与多项安全防护，降低离子析出隐患，适配洁净制程工况。
应用领域
- 半导体行业：晶圆清洗、蚀刻、去胶药液加温
- 光伏新能源行业：硅片制绒清洗酸碱液加热
- 电子 PCB/FPC 行业：蚀刻、微蚀、脱膜药液恒温
- 多领域洁净制程：光学玻璃、锂电、洁净实验室高纯腐蚀液加热
产品优势
- 高纯接液设计：全 PFA 接液，无金属析出，药液高纯无污染
- 强耐腐蚀特性：耐强酸碱腐蚀，适配各类腐蚀化学品
- 恒温控温效果：温控稳定均匀，防止药液高温变质
- 运行安全保障：多重安全防护，杜绝干烧、超温风险
- 机型灵活选型：分浸入 / 在线两种款式，适配多种产线
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